3주차 1일 수강후기

| 2020.02.24

jjw***

8대공정 중 이온주입,cmp,cleaning 공정에 대해 배우는 강의였습니다. 세 공정 다 출제 빈도수가 높지 않기 때문에 강의 시간이 짧았던 것 같습니다. 그래도 기본적으로 알아야할 핵심들을 설명해주셔서 좋았습니다.
강의의 내용을 정리해보면 다음과 같습니다.
이온주입 공정에 대해 설명하라는 문제가 나오면 정의, 구조 특성을 설명하면 됩니다.
이온 주입 공정의 장점으로는 정확한 도핑량과 깊이를 제어할 수 있다는 것, anisotropic해서 원하는 곳에 도핑을 할 수 있다는 것입니다. 대신 가격이 비싸고 channeling이 일어난다는 단점이 있습니다. 이온주입 공정과 비교하여 확산공정은 상대적으로 가격이 저렴하고 damamge가 적지만 고온공정이고 도핑 농도와 깊이를 독립적으로 제어할 수 없다는 큰 단점때문에 현재는 사용하지 않는 기술입니다.
이러한 내용들을 잘 정리하면 면접 준비하는데 매우 효과적이라고 생각합니다.