들으면서 이해가 안가네요
| 2018.03.21
ksc***
1강 포토 공정에서 negative PR을 썻을 때, 노광 및 현상 후 남아있는 부분의 면적이 좁아지면서 side effect로 PR층의 쓰러짐이 발생한다고 설명하시고, 뒷부분에서는 PR층 간의 간격이 좁아지면 PR층이 쓰러진다 라고 하시는데 이게 서로 다른 말 아닙니까?.. 그냥 제 개인적인 생각으로는 광원의 파장이 짧아짐에 따라 미세화된 패터닝을 구현함에 따라 PR층의 접촉면적이 좁아져 그로 인해 쓰러진다는 것을 말씀하시는 것 같은데 설명을 매우 난해하게 하시네요...
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